O oxigênio é preferido sobre o ar para a produção de ozônio devido à sua maior concentração e pureza. O ar, que compreende aproximadamente 78% de Nitrogênio e 21% de Oxigênio, contém uma menor concentração de Oxigênio. Quando o ar é usado na geração de ozônio, uma parte significativa da energia é consumida na conversão de moléculas de nitrogênio, que são inertes e não participam na formação de ozônio. Isto resulta numa menor eficiência de produção de Ozônio. Usando oxigênio como gás de alimentação, a energia é focada exclusivamente na conversão de moléculas de oxigênio em ozônio, maximizando a taxa de produção de ozônio.
Além disso, o oxigênio é mais limpo e contém menos impurezas em comparação com o ar, garantindo a produção de ozônio de alta qualidade. A ausência de Nitrogênio reduz o risco de produzir óxidos de Nitrogênio nocivos (NOx) como subprodutos, que podem ter efeitos adversos no ambiente e na saúde humana. Portanto, a utilização de oxigênio para a produção de ozônio não só aumenta a eficiência, mas também melhora a pureza e o impacto ambiental do ozônio gerado.
