L'oxygène est préféré à l'air pour la production d'ozone en raison de sa concentration et de sa pureté plus élevées. L'air, qui comprend environ 78 % d'azote et 21 % d'oxygène, contient une concentration d'oxygène inférieure. Lorsque l'air est utilisé dans la production d'ozone, une partie importante de l'énergie est consommée dans la conversion des molécules d'azote, qui sont inertes et ne participent pas à la formation d'ozone. Cela se traduit par une baisse de l'efficacité de la production d'ozone. En utilisant l'oxygène comme gaz d'alimentation, l'énergie est uniquement axée sur la conversion des molécules d'oxygène en ozone, ce qui maximise le taux de production d'ozone.
De plus, l'oxygène est plus propre et contient moins d'impuretés que l'air, ce qui garantit une production d'ozone de meilleure qualité. L'absence d'azote réduit le risque de production d'oxydes d'azote (NOx) nocifs en tant que sous-produits, ce qui peut avoir des effets néfastes sur l'environnement et la santé humaine. Par conséquent, l'utilisation d’oxygène pour la production d'ozone améliore non seulement l'efficacité, mais aussi la pureté et l'impact environnemental de l'ozone généré.