Kyslík je upřednostňován před vzduchem pro výrobu ozonu kvůli jeho vyšší koncentraci a čistotě. Vzduch, který obsahuje přibližně 78% dusíku a 21% kyslíku, obsahuje nižší koncentraci kyslíku. Při použití vzduchu při výrobě ozonu se významná část energie spotřebuje při přeměně molekul dusíku, které jsou inertní a nepodílejí se na tvorbě ozonu. To vede k nižší efektivitě výroby ozonu. Použitím kyslíku jako krmného plynu se energie zaměřuje výhradně na přeměnu molekul kyslíku na ozon, čímž se maximalizuje rychlost produkce ozonu.
Kyslík je navíc čistší a obsahuje méně nečistot ve srovnání se vzduchem, což zajišťuje výrobu ozonu vyšší kvality. Nepřítomnost dusíku snižuje riziko vzniku škodlivých oxidů dusíku (NOx) jako vedlejších produktů, které mohou mít nepříznivé účinky na životní prostředí a lidské zdraví. Proto využití kyslíku pro výrobu ozonu nejen zvyšuje účinnost, ale také zlepšuje čistotu a vliv ozonu na životní prostředí.
